目前ICP光譜儀主要分為多道型、單道掃描型以及全譜直讀型，其中多道型和單道掃描型代表的是80年代的技術(shù)水平，它們以光電倍增管為檢測器，技術(shù)上非常成熟，但也較落后，其中多道型已幾乎退出歷史舞臺(tái)，單道掃描型以其合適的價(jià)格和靈活方便仍占有一定的*。全譜直讀型儀器代表了當(dāng)今ICP的技術(shù)水準(zhǔn)，它以CID或CCD(SCD)半導(dǎo)體器件為檢測器；中階梯光柵結(jié)合棱鏡(或平面光柵)構(gòu)成二維、高分辯率、高能量色散系統(tǒng)，能同時(shí)獲得各元素譜線的信息。此類型儀器經(jīng)近十年的不斷完善和發(fā)展，目前已成為ICP光譜儀的主流。

　　根據(jù)不同的應(yīng)用領(lǐng)域，ICP光譜儀又有垂直觀測、水平觀測和雙向觀測之分，其中垂直觀測型儀器主要適用于基體較為復(fù)雜的冶金、地礦、有色金屬等領(lǐng)域；水平觀測型儀器適用于基體較為簡單的水質(zhì)、環(huán)保、食品衛(wèi)生等領(lǐng)域；雙向觀測型儀器實(shí)際上是以水平觀測為主附加垂直觀測的儀器，它的*應(yīng)用范圍仍是基體較為簡單的領(lǐng)域，雙向觀測能彌補(bǔ)水平觀測中所存在的易電離干擾、線性范圍變窄等一些缺陷。

　　ICP光譜儀的主要性能指標(biāo)是檢出限、短時(shí)間穩(wěn)定性、長時(shí)間穩(wěn)定性和儀器分辯率，測試這些指標(biāo)需要幾乎一整天的時(shí)間，好在這些指標(biāo)在儀器安裝調(diào)試時(shí)是必需要做的，考察儀器時(shí)，可以著重查看現(xiàn)有同類型儀器的實(shí)際驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，以證實(shí)所考察儀器的性能指標(biāo)。需要說明的是，所有這些指標(biāo)是以簡單水溶液標(biāo)準(zhǔn)(1~10ppm)和空白溶液來測試并理論計(jì)算所得，加上有些為了表現(xiàn)其“優(yōu)良”的“表觀”指標(biāo)，在儀器設(shè)計(jì)上采用了一些“技術(shù)”，以獲得不同條件下各自的*指標(biāo)，例如用狹縫來表演其“好”的“分辯率”，用狹縫來展現(xiàn)其“檢出限”等等。