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ICP單道掃描光譜儀特點(diǎn):1、射頻發(fā)生器的高壓供電回路,采用的電子技術(shù),淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈,采用功率閉環(huán)反饋技術(shù),控制精度于0.1% 2、全自動(dòng)點(diǎn)火 氣路智能控制,實(shí)現(xiàn)軟件點(diǎn)火,更方便3.安全冷卻水保護(hù)、氬氣保護(hù)、過(guò)壓、過(guò)流、滅弧保護(hù)更安全4.輸出功率自動(dòng)匹配調(diào)諧,功率參數(shù)軟件程序設(shè)定5.分光器內(nèi)充氬氣,使波長(zhǎng)在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的效果